Semi S2 Evaluation

1. 개요 및 목적

▶ 반도체 장비인 제조장비, 측정기, Test 장비, 조립장비의 환경, 건강, 안전(EH&S)을 실행하는데에 있다.

▶ 1970년 IIO(International Industrial Organization)에 의해 시작

▶ IBM, TI, Motorola, INTEL 등 반도체업체가 제조한 장비구입 시 장비의 안전을 위하여 평가서를 요구함

▶ Flammable Gas, Toxic Gas, Explosive Gas, Toxic Chemical, Corrosive Chemical 등을 사용하는 반도체 장비의 제작 및 설치의 Standard.

▶ 결론적으로 점차 EH&S(환경, 건강, 안전)가 강조됨에 있어 SEMI 위원회에서는 최신 Version SEMI S2 를 출판하여 반도체 장비에 제작, 설계 및 Test를 요구한다.

 

2.SEMI S2

▶ SEMI S2은 American National Standards (ANSI)를 적용.

▶ End user의 요구사항

▶ Marketing시 필요

 

3. 관련 standard

1) OSHA, ANSI, NFPA and CFR Standards, IEC, ISO

2) Machinery Directive(98/37/EC)

3) SEMI S2

4) SEMI S8

5) NFPA 79

6) EN60204-1

7) SEMI S1 – 시각 위험 정보를 위한 안전 지침

8) SEMI S2 – 반도체 제조 장비를 위한 환경, 건강 및 안전 지침

9) SEMI S3 – 가열된 화학 액체 탱크를 위한 안전 지침

10) SEMI S6 – 통풍을 위한 안전 지침

11) SEMI S7 – 반도체 제조 장비의 환경, 건강 및 안전(EHS) 평가를 위한 안전 지침

12) SEMI S8 – 반도체 제조장비의 인간 공학적 측면의 안전 지침

13) SEMI S9 – 반도체 제조장비를 위한 전기적 시험 방법

14) SEMI S10 – 위험 평가를 위한 안전 지침

15) SEMI S12 – 장비 오염 제거를 위한 지침

16) SEMI S13 – 반도체 제조장비와 함께 사용하는 작동 및 관리 매뉴얼을 위한 안전지침

17) SEMI F6 – 설비 인터페이스 사양 지침 및 포맷

18) SEMI F5 – 가스 상태의 방출물(effluent)취급을 위한 지침

19) SEMI F14 – 가스 공급 장치(gas source equipment) 인클로저의 설계를 위한 지침

20) SEMI F15 – Sulfer Hexafluoride(SF6) 추적 가스 및 가스 크로마토그래피

(Gas Chromatography)를 사용한 인클로저 시험 방법

 

4.SEMI S2 Evaluation Report

1) 목적19)지진으로부터의 보호
2) 범위20)자동재료 취급기
3) 한계21)환경적 고려
4) 참고표준22)배기 및 통풍
5) 용어23)화학물질
6) 안전24)이온화 방사선
7) 일반조항25)비 이온화 방사선 및 지역
8) 평가과정26)레이져
9) 사용자에게 제공되는 문서27)소음수치
10) 위험 경고 표시28)관련문서
11) 안전 연동 시스템
12) 비상차단
13) 전기적 설계
14) 방폭
15) 가열된 화학 액체탱크
16) 인간공학 및 인적요소
17) 위험에너지의 격리
18) 기계적 설계

5. Technical Documentation(필요서류)

1) Maintenance Manual

2) Operation Manual

3) Machinery Drawing

4) Electric Drawing

5) Commercial Item List

6) Seismic Design Data

7) Material Safety Data Sheets

8) Exhaust Ventilation test등 test 서류

9) 기타

 

6. SEMI S2 인증절차

1) Technical Meeting & Seminar

2) System Pre-check & 구조검토 및 변경

3) SEMI S2 Standard에 준한 설계 및 제작 착수

4) Technical Documentation (기술문서) 작성

5) Test 장비 완료

6) Test 장비에 대한 SEMI S2 Standard에 준한 장비 Test

7) 인증기관의 Test 및 평가서 작성

8) SEMI S2 Evaluation Report 발행

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